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氧化亞硅氣相沉積包覆爐
氧化亞硅氣相沉積包覆爐
主要特點 :
氧化亞硅真空蒸餾爐 設(shè)備用途: 氧化亞硅氣相沉積包覆爐,是利用真空蒸鍍法將粉碎后的所得元素?fù)诫s金屬硅與二氧化硅通過真空蒸鍍工藝,制得元素?fù)诫s氧化亞硅。 設(shè)備特點: 1 、本公司自行設(shè)計生產(chǎn)的氧化亞硅氣相沉積包覆爐有兩種加熱方式(感應(yīng)加熱、電阻加熱和中
使用行業(yè) :
  • 產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品規(guī)格
  • 使用步驟
  • 氧化亞硅真空蒸餾爐

     

    設(shè)備用途:氧化亞硅氣相沉積包覆爐,是利用真空蒸鍍法將粉碎后的所得元素?fù)诫s金屬硅與二氧化硅通過真空蒸鍍工藝,制得元素?fù)诫s氧化亞硅。

    設(shè)備特點:

    1、本公司自行設(shè)計生產(chǎn)的氧化亞硅氣相沉積包覆爐有兩種加熱方式(感應(yīng)加熱、電阻加熱和中頻感應(yīng)加熱),內(nèi)部各溫區(qū)溫差在±5℃以內(nèi),能有效保證物料在內(nèi)腔內(nèi)的反應(yīng)溫度均勻。加熱端溫度1400℃,收集區(qū)溫度900℃。能充分滿足客戶用于氧化亞硅等可氣相沉積材料的燒結(jié)工藝。

    2、設(shè)備采用熱電偶接觸式測溫控溫精度高,高溫真空度好,物料收集率高,具備物料烘干、燒結(jié)、收集于一體等特點,其物料反應(yīng)充分、收集率高等特點。

    3、真空采用三級真空機(jī)組,油擴(kuò)散泵+羅茨泵+機(jī)械泵+真空閥門,以及我公司自行生產(chǎn)設(shè)計的真空過濾系統(tǒng)組成,具有真空度高,設(shè)備能在高溫、高真空環(huán)境中長期使用。

     

     

     

    設(shè)備常用尺寸規(guī)格: 

     

    型號

    高溫區(qū)體積

    收集區(qū)容積

    設(shè)計功率

    極限真空度

    加熱方式

    HYZF-5080

    150L

    50L

    80KW

    6.67*10-3Pa

    中頻感應(yīng)加熱

    HYZF-50120

    230L

    80L

    160KW

    6.67*10-3Pa

    中頻感應(yīng)加熱

    HYZF-7080

    300L

    100L

    200KW

    6.67*10-3Pa

    電阻加熱

    HYZF-8080200

    1200L

    560L

    500KW

    6.67*10-3Pa

    電阻加熱

    可定制其它規(guī)格